Трихлорсилан

Трихлорсилан (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) е безцветна, силно летлива течност с остра, задушаваща миризма на хлороводород. Кипещ при 31,8 градуса и реагиращ бурно с влагата, той е ключовата суровина за процеса на Siemens за производство на полисилиций с висока-чистота за фотоволтаични слънчеви клетки и полупроводникови пластини. TCS също се използва широко в растежа на силициеви епитаксиални пластини, органосилициевия синтез (силиконови масла, каучуци, смоли, свързващи агенти), CVD отлагане на силициев тънък слой и като селективен редуциращ агент в органичния синтез. Предлага се в промишлен клас (по-голям или равен на 99,0%) и електронен клас (до 9N чистота). Класифициран като водореактивен и силно запалим (UN 1295, клас 4.3+2.3, PG I) с изключително широк експлозивен диапазон от 1,2%–90,5%; боравете само при строго безводни условия със защита от сух азот.